1. 产品介绍
XZ垂直正交平台采用高刚性机械设计，将水平直线电机机构与垂直丝杆机构以90度正交形式集成，专为Z轴高精度要求应用设计。

2. 产品特点

高刚性结构：XZ垂直布置，强化连接，确保平台在高速启停下的稳定性。

高精度基础：平台底座采用精密花岗岩，具备优异的热稳定性和长期几何精度保持性。进口高精密等级滚珠（柱）直线导轨。

全闭环精度控制：直线电机与Z轴滚珠丝杆机构（可选用直线电机）均配置直线编码器做全闭环反馈。

模块化设计：提供多种行程、推力和精度等级的模块化选择。

3. 技术参数

重复定位精度：±1 μm

直线电机结构类型：无铁芯电机、有铁芯电机（视工况而定）

Z轴重复定位精度：±5 μm

平台基础：00级花岗岩基座（可选）

导向系统：P、SP级直线导轨（可选）

最大速度：可达3 m/s（取决于行程与负载）

最大加速度：可达2 G（取决于行程与负载）

Z轴推荐负载：< 50 kg（视具体结构而定）

反馈系统：高分辨率光栅尺，分辨率可达5 nm（可选）

4. 应用领域

精密加工（钻孔、切割、焊接）

高精度视觉检测与量测

精密点胶