1. 产品介绍
XY水平正交直线电机平台采用高刚性机械设计,将两组直线电机机构以水平90度正交形式集成。专为高速、高精度、多工位定位应用而设计,是自动化与精密制造领域的核心运动单元。
2. 产品特点
高刚性结构:XY正交堆叠,紧凑型优化设计与强化连接,确保平台在高速启停下的稳定性。
高精度基础:平台底座采用精密花岗岩,具备优异的热稳定性和长期几何精度保持性。进口高精密等级滚珠(柱)直线导轨。
模块化设计:提供多种行程、推力和精度等级的模块化选择,搭载DD马达可实现XYθ运动。
3. 技术参数
定位精度:±1 - 3 μm / 全行程
重复定位精度:±0.5 μm
直线电机结构类型:无铁芯电机、有铁芯电机(视工况而定)
平台基础:00级花岗岩基座(可选)
导向系统:P、SP级直线导轨(可选)
最大速度:可达3 m/s(取决于行程与负载)
最大加速度:可达2 G(取决于行程与负载)
推荐负载:< 100 kg(视具体结构而定)
反馈系统:高分辨率光栅尺,分辨率可达5 nm(可选)
4. 应用领域
半导体芯片封装与测试
激光精密加工(钻孔、切割、焊接)
高精度视觉检测与量测
生物医学自动化设备(如DNA测序)
精密点胶与贴装设备
